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空气过滤器典型使用场所分析

　　1 芯片厂

　　当今，半导体芯片厂对生产环境空气洁净程度挑剔，对空气过滤器的要求也苛

　　刻。粘在芯片上的粉尘可能造成断路、短路而直接影响成品率。

　　芯片厂用的高效过滤器和风机过滤单元（FFU）出厂前要经过扫描测试。芯片厂不认钠焰法和DOP法的帐。芯片厂特别在意过滤器上可能的微量挥发元素。近几年出现了聚四氟乙烯PTFE纤维高效过滤材料，这种材料没有挥发物，但它带静电，过滤后的空气要进行电中和以消除离子，少了个隐患，多了个麻烦。

　　但当芯片的线宽小到0.5um时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于是，后建的芯厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。芯片厂说的化学过滤器就是活性炭过滤器，它的原理和制造工艺并不复杂。许多情况下，设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度，因此，芯片厂用的化学过滤器应具有两个特点：广谱吸附性能、足够多的吸附材料。如果能确定污染物种类，就可对吸附材料进行有针对性的化学处理，以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务，以帮助用户确定化学过滤器的使用情况，这就要求供应商中有搞化学过滤的专家，并与权威实验室有密切的关系。

　　半导体工业并非“无烟工业”，它也有环境问题。为降低环境风险，有些芯片厂的排风系统也装有化学过滤器。

　　2 机场空调系统

　　飞机场是宾客对城市的第一印象，机场空调系统表明主人的实力和空调设计师的水

　　平。在发达大型机场的空调系统中，空气过滤器常见配置为：

　　G4～F6预过滤器→活性炭过滤器→F7末端过滤器

　　F7过滤器（Ashhae Dust-spot 85%）是上档次的公共场所中常见过滤器。经过F7过滤器后，空气含尘浓度可以达到旅游景区的水平。标准中规定候机厅可吸入颗粒物的浓度上限为0.15mg/m3，这是从卫生角度考虑的低要求，机场室外空气也比这个浓度低．设计中，机场空调考虑的是档次，而不仅仅是卫生．