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洁净室等级标准(国内和国外标准对比)

发布时间:2018-10-08 16:59:40  浏览:97

洁净室等级标准(国内和国外标准对比)

ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级

ISO分级

大于等于表中所列粒径悬浮粒子大允许浓度(颗/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO1级

10

2





ISO2级

100

24

10





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